Maqsadli püskürtme, sirt muhandisligi va yupqa plyonka texnologiyasining asosiy texnologiyasi sifatida, yuqori energiya holatida nishonga tegish uchun ionlar yoki boshqa zaryadlangan zarrachalardan foydalanishni nazarda tutadi va shu bilan maqsadli atomlar yoki molekulalarning kinetik energiyasini uzatish va moddiy tashishni boshlaydi. . Qo'zg'algan atomlar yoki molekulalar maqsadli sirtdan ajralib chiqadi va yuqori tezlikda harakatlanib, bir xil yoki o'ziga xos tuzilishga ega bo'lgan yupqa plyonka hosil qilib, substratga yotqiziladi.
1. Tasniflash
(1) doimiy to'lqinli oqim
Printsip: DC purkash energiya manbai sifatida doimiy shahar quvvat manbaidan foydalanadi va asosan metallar kabi yaxshi o'tkazuvchanlikka ega maqsadlar uchun javob beradi.
Xususiyatlari: Bu oddiy uskunalar, qulay foydalanish va yuqori cho'kma tezligining afzalliklariga ega. Bu izolyatsiya materiallariga taalluqli emas, chunki ular samarali zaryad tashishni o'rnatolmaydi.
(2) Radiochastota chayqalishi
Printsip: Radiochastotani purkash radiochastotali quvvatdan (odatda MGts diapazonida) foydalanadi, shuning uchun o'tkazuvchan bo'lmagan materiallar (masalan, keramika, oksidlar) ham püskürtülebilir.
Xususiyatlari: yuqori cho'kma bir xilligi bilan izolyatsion materiallarni purkashga qodir. Biroq, murakkab elektr ta'minoti va nazorat qilish tizimi tufayli xarajatlar va texnik xizmat ko'rsatish qiyinligi nisbatan yuqori.
(3) Magnetronning chayqalishi
Printsip: An'anaviy püskürtme asosida magnit maydon magnitlarni nishonga yaqin joylashtirish orqali hosil bo'ladi va shu bilan plazmaning zichligi va barqarorligini oshiradi.
Xususiyatlari: purkash samaradorligi va plyonka sifati yaxshilanadi, maqsadli iste'mol kamayadi. Pastroq havo bosimida ishlashi mumkin, shu bilan gaz zarralarining plyonkaga ta'sirini kamaytiradi.
(4) Reaktiv purkash
Printsip: Chaqmoq jarayonida reaktiv gazlar (kislorod, azot kabi) ishchi atmosferaga kiritilib, maqsadli atomlar bilan kimyoviy reaksiyaga kirishib, birikma plyonka hosil qiladi.
Xususiyatlari: Oksidlar, nitridlar, karbidlar va boshqalar kabi turli xil birikma plyonkalar tayyorlanishi mumkin. Biroq, nazorat qilish murakkab va reaktiv gazning oqim tezligi va bosimini aniq sozlashni talab qiladi.
(5) Yuqori quvvatli impulsli magnetronli püskürtme
Printsip: Cho'kish tezligini oshirish uchun qisqa vaqt davomida yuqori zichlikdagi plazma hosil qilish uchun yuqori quvvatli impulsli quvvat manbaidan foydalaning.
Xususiyatlari: Yana silliq va zichroq plyonkalarni olish mumkin. Ammo yuqori quvvat sarfi tufayli qurilmaning issiqlik boshqaruvi va chidamliligi qiyinchiliklarga aylanadi.
2. Ilova
(1) yarimo'tkazgich sanoati
Sputtering texnologiyasi yuqori samarali integral mikrosxemalar va mikroelektronik qurilmalarni ishlab chiqarish uchun muhim bo'lgan o'tkazuvchan, izolyatsion va ekranlovchi qatlamlarni joylashtirish uchun ishlatiladi.
(2) Optik ilovalar
Ko'zgular va aks ettiruvchi qoplamalar: püskürtme texnikasi bilan tayyorlangan yupqa plyonkalar lazer tizimlarida linzalar, linzalar va nometall kabi turli xil optik qismlarni ishlab chiqarish uchun ishlatilishi mumkin. Quyosh xujayralaridagi yorug'likni yutuvchi qatlam va o'tkazuvchan qatlam ham ko'pincha püskürtme bilan tayyorlanadi.
(3) Dekorativ qoplama
Avtomobilsozlik va qurilish sanoati: purkalgan plyonkalar avtomobil qismlari va qurilish materiallariga dekorativ qoplamalar uchun ishlatiladi, bu nafaqat estetik ko'rinishni ta'minlaydi, balki materialning aşınma va korroziyaga chidamliligini oshiradi. Uyali telefonlar va kompyuterlar kabi maishiy elektronikaning korpuslari va dekorativ qismlari ham aşınmaya bardoshli va chiroyli plyonkalarni qoplash uchun tez-tez püskürtme texnologiyasidan foydalanadi.
(4) Maxsus funktsional plyonkalar
Asbobning ishlash muddatini uzaytirish uchun asboblar va qoliplar yuzasiga yuqori qattiqlik va aşınmaya bardoshli plyonkalarni joylashtirishi mumkin. Bundan tashqari, purkalgan plyonkalar binolar va avtomobillar uchun aqlli oyna texnologiyasida yorug'lik o'tkazuvchanligini sozlash uchun ishlatilishi mumkin.
(5) Biotibbiyot sohasi
Biomoslashuvchan plyonkalar odatda sun'iy bo'g'inlar yoki dental implantlarning inson tanasi bilan mosligini oshirish uchun püskürtme texnikasi bilan biriktiriladi.
FANMETAL mijozlarga titan alyuminiy purkash maqsadlari, volfram nishonlari va xromli metall purkash maqsadlari va boshqalar kabi turli xil metall purkash maqsadlarini taqdim etishi mumkin.
